Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen - Michael Teutsch
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Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen

by
Language
German
Published in
Publisher
KIT Scientific Publishing
Pages
202
ISBN
9783731500261

Subjects