Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture
de Zhe Chen
- Paru pour la première fois en 2014
- 192 pages
- Français
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Détails et éditions
- Cette édition
- Presses Académiques Francophones, 2014
- ISBN
- 9783838146324
- Langue
- Français